ガラス加工(穴あけ) |
◆ はじめに |
ガラスへの穴あけ加工は、様々な方法で各メーカーが対応しておりますが、当社では ガラスへの穴あけ加工は独自の技術を基に、ストレート形状の穴、穴径φ0.15mm 以上での製造が可能です。又、カバーガラスにおいては、独自の技術にて端面にR化を 施しガラスクズ等発生しないカバーガラス・CCD用カバーガラスを提供いたします。 ガラス加工としましては、ガラス曲げ加工・成形なども行っております。 |
【加工例】 ストレート穴・ガラスウェハ加工 (テンパックスガラス穴あけ加工) |
サンプル品(穴あきガラスウェハ 5インチ 穴サイズφ0.9mm ガラス厚さ1mm) |
穴部拡大 |
ガラス穴あけ加工の穴周辺部には、チッピングが無く仕上がっている。 |
ガラス穴あけ加工 仕様 |
外径サイズ | 穴形状 | 厚さ | 穴径 | 素材 | |
標準タイプ | 200mm以下 | 丸穴 | 0.5mm〜1mm | 0.3mm | テンパックス |
特別仕様タイプ | 200mm以下 | テーパー 四角等 | 0.3mm〜5mm | 0.15mm〜1.2mm | *1 |
公差 |
±0.5mm以下 (標準)*2 |
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±0.05mm以下(標準) ±0.01mm以下(特別仕様) |
穴位置精度 ±0.05mm 穴径精度 ±0.02mm *3 |
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*1 その他ガラス材質については、ご相談下さい。 *2 表記以外にも対応可能です。 *3 穴径精度は丸形状を表しております。 |
上記以外でもお気軽にご相談下さい。可能な限り対応致します。 |
●ポイント |
・ガラス素材の膨張係数はシリコンにマッチング。 ・シリコンウェハと陽極接合が可能。 ・ストレート孔の為ピッチ間がサンドブラストに比べ小さく出来る。 上記内容により電極が接合できれば、パッケージでの小型化が出来る。 |
●素材及びサイズ |
・ガラス素材:SCHOTT(ショット)製ホウケイ酸ガラス(テンパックス フロート) 熱線膨張係数(3.3×10-6℃) 密度(2.2g/cm3 比誘電率(4.6Mkz) ・形状:3インチ〜5インチ 厚さ:0.5mm〜1mm 穴サイズ:0.5mm〜1.2mm 穴ピッチ:1mm ・上記以外サイズにも対応いたしますので、お気軽にご相談下さい。 |
【加工例】 | |
CCDカバーガラス | ガラス加工品 |
センサーライト用カバーガラス | フィルター・バックライト用等 |
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